journées scientifiques 2007

Les journées scientifiques 2007 du LTM se sont déroulées les 17 et 18 septembre 2007. Voici certaines des contributions présentées pendant ces 2 journées :

Programme général des journées

Lithographie

P. Schiavone : Présentation de l’équipe Lithographie

S. Soulan : Scatérometrie en temps réel

Jean-Hervé Tortai : les techniques de caractérisation des résines de lithographie

Hassan Ridaoui : Caractérisation des résines polymères pour la litho 193 nm

Marc Zelsmann : Matériaux front end et back end pour la lithographie UV-NIL

Jumana Boussey : Développement des procédés UV-NIL

Corinne Perret : Résultats récents en lithographie par nanoimpression thermique

Tzvetelina Tzetkova : Impact de la nanotopographie de surface sur la motilité des cellules normales et cancéreuses

XPS

Arnaud Beaurain : Etude par XPS résolue angulairement de l’évolution de la contamination à l’air de différents matériaux : TaC, W, WSi, HfO2

Gravure

L. Vallier & G. Cunge : Présentation de l’équipe gravure

Mickael Martin : Impact de la rugosité de la résine sur la gravure des grilles

Olivier Luere : Evolution des procédés de gravure de grilles métal

Elodie Sungauer : Etude de la cinétique de gravure en plasma BCl3

Michel Touzeau : Détection d’atomes pulvérisés par fluorescence induite par Laser (LIF)

Raphaël Ramos : Interaction plasma / surface

Matériaux

Hichem Abed : Croissance de nanofils en ZnO par PE-MOCVD

Aurélien Lherbier : Simulation de dispositifs à base de nanofils semiconducteurs

Olivier Gourhant : Elaboration par PECVD et caractérisation des diélectriques poreux de très faible permettivité

Tatiana Pinedo : Assemblage par forces de capillarité assistée par convection dans les milieux confinés