La microélectronique silicium est gouvernée depuis plus de trente ans par la miniaturisation des dimensions caractéristiques des composants CMOS. Cette miniaturisation est envisagée jusqu’à des dimensions de l’ordre d’une dizaine de nanomètres. L’activité du LTM est aujourd’hui essentiellement mobilisée autour des technologiques élémentaires qui contribuent directement à la miniaturisation des dispositifs micro-nanoélectroniques et à l’introduction de nouveaux matériaux dans les filières nanoélectroniques.
