Post doc : Deprotection kinetic measurements of 193nm photoresist and process optimisation
Contact : Jean-Hervé Tortai +33 (0)4 38 78 90 76
Equipe : Lithographie
Post doc : optimisation for semiconductor industry
Contact : Patrick Schiavone +33 (0)4 38 78 95 08
Equipe : Lithographie
Il n’y a pas de thèses proposées pour l’instant au LTM.
Développement de matériaux à faible viscosité
pour la nanoimpression
Contact : Cécile Gourgon +33 (0)4 38 78 98 37
Equipe : Lithographie
Modifications des diélectriques poreux après les procédés plasmas (gravure, traitement) : caractérisation de la permittivité par spectrométrie d’impédance
Contact : Thierry Chevelleau / Patrice Gonon +33 (0)4 38 78 98 37 / +33 (0)4 38 78 64 41
Equipe : Lithographie, Gravure
Analyse par spectroscopie d’absorption UV des plasmas de
gravure pour la micro et la nano-électronique
Contact : Gilles Cunge +33 (0)4 38 78 94 60
Equipe : Gravure
Pas de postes à pourvoir pour l’instant au LTM.