Journées scientifiques 2008
- Introduction générale
- Présentations « Gravure Plasma »
- Présentations « Techniques »
- Présentations « Nanomatériaux et Nano-Objets »
- Présentations « Systèmes pour la Biologie »
- Présentations « Colloidal Nanodevices »
- Présentations « Lithographie »
Introduction générale
Olivier JOUBERT
Bilan 2007-2008 et perspectives 2008-2009
Présentations « Gravure Plasma »
Introduction par Laurent VALLIER
Axes d’études, moyens humains et contractuels, collaborations et perspectives
Erwin PARGON
Activité plasma-résine
Kevin MENGUELTI
Impact des plasmas de Cure sur les résines 193 nm
Mickael MARTIN
Impact des procédés plasmas sur le LWR des résines 193 nm
David VEMPAIRE
UV LEDs in BBUV absorption spectroscopy
Laurene BABAUD
Développement et optimisation d’un procédé de gravure grille Si pour le noeud technologique 45 nm
Thierry CHEVOLLEAU
Présentation de l’activité Back End
Julien DUCOTE
Hard mask strategies : metallic Vs. Organic
Regis BOUYSSOU
Présentations « Techniques »
Bernard PELISSIER
Analyse de surface par XPS pour les technologies avancées
Sebastien DECOSSAS
le masqueur de la Plateforme de Technologies Amonts
Présentations « Nanomatériaux et Nano-Objets »
Thierry Baron
Axes d’études, moyens humains et contractuels, collaborations et perspectives
Claire AGRAFFEIL
Etude des copolymères à block pour le realisation de nanofils organisés
Ledilege CUCCO-PORTO
Etude de l’auto-organisation de copolymères à blocks
Hichem ABED
Etude de la croissance de nanofils de ZnO
Celine TERNON
ZnO nanowires growth to realize dye sensitized solar cells
Corentin JOREL
Des matériaux pour les capacités MIM
Thomas BERTAUD
Etude et élaboration de matériaux "High K" et "Medium K"
Yoann BERNARD
Développement d’oxydes pour les mémoires résistives
Florian DHALLUIN
Dépôt chimique en phase vapeur de nanofils de Silicium
Présentations « Systèmes pour la Biologie »
Jumana BOUSSEY
Axes d’études, moyens humains et contractuels, collaborations et perspectives
Alice NICOLAS
Mécanique des interactions intercellulaires dans les tissus
David FUARD
Dispositifs micro-électronique pour la biologie
Tzvetelina TZVETKOVA
Communication Biomécanique et Biochimique entre l’adhérence cellule-cellule et l’adhérence cellule-matrice
Présentations « Colloidal Nanodevices »
David PEYRADE
Présentation de l’activité Colloidal Nanodevices
Emmanuela ROSSITO
Synthesis and assembly of semiconductor nanorods
Tatiana PINEDO
Convective - Capillary force assembly of colloids. Spectoscopy studies of metallic interactions
Thibault HONEGGER, Olivier LECARME
Conception end characterization of new sub-wavelength optical components based on colloidal assembly
Présentations « Lithographie »
Cécile GOURGON
Axes d’études, moyens humains et contractuels, collaborations et perspectives
Marc ZELSMANN
Présentation de l’activité Nanoimprint
Delphine BOUTRY
Etude de la dégradation du traitement fluoré déposé sur des moules en quartz pour l’UV-NIL
Achille FRANCONE
Etude des méteriaux monomères pour la lithographie par nano-impression assistée par UV (UV-NIL)
Corinne PERRET
Développement de procédés en NIL thermique
Maxime BESACIER
Présentation de l’activité Scatterométrie
Anna-Maria ARMEANU
Simulations électromagnétique utilisant une méthode modale par décomposition en ondelettes
Mame Kouna TOP
Etude des modèles résine pour l’OPC
Mohamed EL KODADI
Développement des techniques de scatterométrie en temps réel pour le suivi de procédés de gravure plasma
