Créé en 1999, le Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM) est une unité mixte de recherche (UMR 5129) du CNRS (Département ST2I, de l’Université Joseph Fourier et de l’Institut National Polytechnique de Grenoble. Le LTM regroupe soixante-dix personnes environ avec notamment 10 enseignants-chercheurs, 12 chercheurs du CNRS, 12 personnes administratives et techniques et environ 30 doctorants et post-doctorants en régime de croisière. Le LTM est localisé sur le site du CEA-LETI depuis sa création. La présence du LTM au sein du LETI lui permet de bénéficier d’un environnement technologique unique en France et de développer des projets de recherche s’appuyant sur des moyens de technologie lourds difficiles à mettre en œuvre dans un environnement académique traditionnel. Les activités de recherche du laboratoire sont orientées vers le développement et la caractérisation des technologies, procédés et matériaux intervenant dans la fabrication des dispositifs nanoélectroniques.
La recherche du LTM est menée en partie sur des équipements industriels acceptant des substrats de dimension 200 mm. Le LTM y développe une activité de recherche technologique amont permettant d’acquérir une expertise unique dans le domaine de la physique des technologies d’élaboration des nanostructures et de l’élaboration des nanomatériaux. Récemment le LTM s’est lancé dans l’aventure de la microélectronique 300 mm en partenariat avec le CEA-LETI. Un cluster de gravure industriel 300 mm a été mis en place dans la salle blanche du CEA-LETI pour caractériser les procédés de gravure des matériaux impliqués dans les filières nanoélectronique CMOS. En parallèle à son activité dans le domaine de la microélectronique, le LTM aborde de nouveaux sujets plus exploratoires dans le domaine des nanotechnologies avec en particulier la mise en place d’un atelier de nanolithographie par nano-impression unique en Europe.
De nouvelles activités scientifiques dans le domaine de l’élaboration des nano-matériaux et le développement des nanotechnologies sont également initiées. Le LTM s’engage dans le développement de nouvelles briques de base technologiques spécifiquement dédiées à l’adressage et l’organisation de nano-objets importantes pour la mise au point de nouvelles filières nanoélectronique exploitant les propriétés d’objets individuels et nano-fils semi-conducteurs et métalliques.
Très ouvert sur l’extérieur, le LTM s’est construit en partenariat étroit avec les équipes du LETI. De nombreuses collaborations existent avec les équipes de l’Alliance présentes au LETI ou sur le site de Crolles mais aussi avec les équipementiers de la microélectronique silicium. Au plan régional, le LTM a pris une part active dans l’animation de la Fédération des Micronanotechnologies de la région Rhône-Alpes avec en particulier un rôle très actif dans la mise en place d’une plate-forme de technologie souple dédiée à des programmes de recherche exploratoire dans le domaine des nanotechnologies et des nanosciences.
Directeur : Olivier Joubert, Directeur de recherche au CNRS
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