Lithographie
La lithographie est une étape clé de la réalisation des composant miniaturisés (micro ou nanoélectronique, MEMS, ...). Elle consiste à définir des motifs dans une couche de résine déposée sur un substrat, par exemple une plaque de silicium.
L’activité lithographie du LTM est orientée vers trois thématiques principales qui s’entremêlent :
La lithographie pour la microélectronique (en particulier la lithographie Extrême UV)
La nanoimpression
L’étude des propriétés et des limitations des résines de lithographies
Les projets européens
Le LTM est impliqué dans plusieurs projets européens (IST ou MEDEA+) :
More Moore (Exploring new limits to Moore’s law) : projet intégré IST sur la lithographie EUV
NaPa (Emerging Nanopatterning Methods) : projet intégré IST sur la nanoimpression
Liquid : projet MEDEA+ sur la lithographie à immersion
